美國MKS真空計的量程范圍美國MKS真空計是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。美國MKS真空計量程范圍：
在較高壓力時(10～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等[1] 。
在10～10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
美國MKS真空計可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。一個是它的測量范圍，一個是它的測量精度。皮拉尼（電阻）真空計，國內(nèi)的產(chǎn)品測量范圍上限是一個大氣壓，下限到0.1帕，精度為正負(fù)50%。國外的產(chǎn)品測量范圍上限是一個大氣壓，下限到0.01帕，精度為正負(fù)20%。冷陰極（電離）真空計，目前國內(nèi)外的產(chǎn)品測量范圍上限一般都是1帕，精度為正負(fù)50%。MKS流量計是以單位時間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮?dú)猓然瘹錃怏w，氨氣，SICL4硅烷氣體等。
美國MKS流量計、MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥核心型號為：
MKS BARATRON 622A01TDE 1 Pa/133.32C70145 Lot 2
MKS Baratron Pressure Switch (41A & 51A)
MKS INSTRUMENTS PORTABLE BARATRON SYSTEM
MKS Instruments Baratron Pressure Transducer 220BHS-2A1
MKS Baratron Type 224/224HA Pressure Switch/Controll?er
MKS Baratron Absolute Pressure Transducer 627B Manual
MKS PAR-10 BARATRON
MKS BARATRON 627A-13614 .25 Pa/133.32
MKS Baratron Pressure XDCR, 1350-01153, 750B11TCD2GG
MKS BARATRON 223BD-00100AAB PRESSURE TRANSDUCER TYP 223
MKS Baratron Pressure Transducer 872B12PMD2MT1 100PSIA
MKS BARATRON HEAD UNIT MODEL# 698A12TRA 100 TORR
MKS Model 722A 21TCB3FJ Baratron, 20 TORR Range
MKS Baratron Manometer 100 Torr 622A12TAE new
MKS Baratron Capacitance Manometer 100 Torr 626A12TBE UNITY II
MKS BARATRON 627 PRESSURE TRNSDCER 10 TORR UNITY II
MKS Baratron Pressure Switch 10 Torr-G 41A-15460 NEW
MKS Baratron Single-end Vacuum Switch, 51A11TGA2BA001
MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 722A13TCD2FA
MKS BARATRON PRESSURE GAUGE TRANSDUCER 1000 PSI 840B SS
MKS Baratron Manometer Transducer 1000 Torr 626A13TBE
MKS Baratron Single-end Pressure Switch, 51A13TCA1AA999
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